技术编号:6941397
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向被处理基板上供给处理液而进行规定的处理的基板处理技术,特别是涉及在以平流方式沿水平方向输送基板的同时、进行液处理的基板处理装置及基板处理 方法。背景技术近年来,在IXD (液晶显示器)制造中的抗蚀剂涂敷显影处理系统中,作为能够有 利地应对LCD用基板(例如玻璃基板)的大型化的显影方式,普及有在沿水平方向铺设有 滚轮的输送路径上输送基板的同时、进行显影、冲洗(rinse)、烘干等一连串的显影处理工 序的、所谓的平流方式。与使基板旋转运动的旋转器方...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。