技术编号:6943588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶体硅太阳能电池制造工艺,尤其涉及一种两次丝网印刷与刻槽 结合的太阳能电池制造工艺。背景技术丝网印刷技术是产业化晶体硅太阳能电池制造工艺中普遍使用的电极制作工艺, 现有的采用丝网印刷的晶体硅太阳能电池制造工艺具体步骤如下,常规采用一次印刷的方 式a)硅片去除表面损伤层及硅片表面制绒;b)三氯氧磷(POCL3)液态源N+扩散;c)氟化 氢(HF)去磷硅玻璃(PSG)及边缘刻蚀;d)热生长高质量氧化硅;e)表面沉积减反SiNx ;f) 印刷背面电...
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