技术编号:6943597
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有作为入射光行进路径的波导的图像传感器及其制造方法,更具体 地涉及,在具有波导的图像传感器中,单独的布线层 形成于光电二极管上,从而当通过蚀刻形成波导时确保蚀刻的均勻性并防止在蚀刻过程中 由等离子体离子产生暗电流。背景技术图像传感器是将光图像转换为电信号的半导体装置。典型的图像传感器包括电荷 耦合装置(CXD)和CMOS图像传感器。在这两种图像传感器之间,CMOS图像传感器代表通过使用CMOS制造技术将光图 像转换为电信号的装置。CMOS图像传...
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