技术编号：6944443
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种纳米器件的制作方法，尤其涉及一种大面积平行排列纳米线的压 电器件的制作方法，属于纳米技术与半导体电子技术相关领域。背景技术纳米技术作为21世纪的一个重要新兴科技领域，在理论与实践上正经历着高速 发展。大量新型纳米材料与器件不断被开发出来，并在生物医学、国防以及人民日常生活的 各个领域中展现出前所未有的应用前景。然而，纳米技术发展到今日，大量的研究都集中于 开发高灵敏度、高性能的纳米器件，几乎还没有任何关于纳米尺度的电源系统研究。但是， 应用于...
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