技术编号：6944565
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在涂敷膜形成装置等中搬送基板的基板搬送装置，在该基板搬送装置 中所具 备的基板搬送臂，和安装在该基板搬送臂的基板保持部件。背景技术在半导体器件的制造工艺中的光刻工序中，进行例如在半导体晶片等的基板(以 下称作“晶片”。)上涂敷抗蚀剂液形成抗蚀剂膜的抗蚀剂涂敷处理、将抗蚀剂膜曝光为规 定的图案的曝光处理、对曝光后的抗蚀剂膜进行显影的显影处理，在晶片上形成规定的抗 蚀剂图案。作为能够自动化地进行这样的一系列的处理的装置，存在组合有通过接口部交接 晶片...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。