技术编号:6944740
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种传感器,特别涉及一种用于半导体制造的便携式无线传感器。 背景技术半导体制造需要许多制造工具。这些制造工具使用内部或外部传感器测量工艺参 数例如温度、电流、电压或压力。然而,制造工具能测量的参数为供应商所限制,制造工具经 常无法提供测量一些额外需要的工艺参数。此外,制造工具原始配置的传感器通常有线而 且难以拆卸。另外,传感器通常设计成只能感应单一参数,并且难以整合额外的功能到传感器。因此,虽然现有的半导体制造工具传感器通常已能满足机台设备基本需...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。