半导体发光元件及其制造方法、半导体元件及其制造方法技术资料下载

技术编号:6945031

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本发明涉及一种半导体发光元件及其制造方法,以及一种半导体元件及其制造方 法,更特别地,其适用于使用Ag(Ag)电极的半导体发光元件,例如发光二极管。背景技术在使用GaN系半导体等的发光二极管中,在很多情况下,使用Ag电极作为在半导 体层中形成的电极,然而,Ag电极有以下问题。1.纯Ag基本上对氧化和硫化的耐性较低(容易与氧和硫发生反应)。从而,纯Ag 易受到从暴露环境中摄取氧和硫的影响,其反射率劣化。尤其是,利用真空蒸发法形成并且 通常用于电极形成的Ag膜...
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