一种互注入锁定的二维表面发射激光器阵列的制作方法技术资料下载

技术编号:6945379

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本发明涉及激光器装置,特别是一种互注入锁定的二维表面发射激光器阵列。 背景技术高功率单模的激光可广泛应用于金属切割,泵浦固体激光器、光纤激光器,干涉计 量,激光全息,激光雷达,光通信等领域,这些领域对高光束质量的激光器有很大的需求。传统的半导体激光器通过集成多个二极管条可以得到高的出光功率,但是光束质 量较差,需要集成多个外部光学元件,改善光束质量,存在体积大,成本高等问题。垂直腔表 面发射半导体激光器的光束质量较好,但是因腔长很短,出光功率很低。表面发射...
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