技术编号:6945887
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种闸门阀,且更具体地说,涉及一种用于大型衬底的闸门阀和一种包括所述闸门阀的衬底处理装置。背景技术用于半导体设备的装置已被广泛研制。例如,在美国专利申请公开案第 US2002/0024611号中揭示一种用于直径为300mm的晶片的制造装置。在用于半导体设备的 制造装置中,用于传递设备的轨道安置在外壳的中心部分,且多个处理台沿所述轨道的两 侧安置。所述传递设备由所述轨道支撑且沿所述轨道移动。另外,传递设备的高度是可控 制的,且传递设备包括一个具有衬...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。