技术编号:6946719
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成系统,尤其涉及用于制造具有漏电流抑制的高电压晶体管的系 统。背景技术个人电子产品的真正爆炸式发展促进了集成电路及技术开发的繁荣。我们的手机 中的数码相机需求现已扩大至包括添加数字视频录像机、全球定位系统、个人视频播放器 和高品质音频。为保证电路的正常运行,这些功能的集成使得电源管理和隔离成为必要。在高度集成的半导体结构中,通常采用沟槽隔离区来电性隔离相邻区块结构。一 种常见的沟槽隔离区形式是所谓的浅槽隔离(shallowtrench isol...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。