一种微孔液体冷却不变形镜及其制作方法技术资料下载

技术编号:6946759

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本发明属于激光光学谐振腔领域,具体涉及一种液体冷却不变形镜及其制作方 法,主要用于高功率密度和面型要求高的高能激光器光学谐振腔和光学链。背景技术激光光学谐振腔由于吸收激光能量不均勻,导致镜面温度不均勻(如图1所示), 造成镜面面型变形,引起激光波阵面畸变,造成输出光束质量和稳定性下降。随着激光功率 越来越高,这个问题越来越突出。因此,减少镜面的不均勻热变形是高功率激光技术中的关 键技术。目前主要从三个方面来降低镜面的不均勻热畸变选择合适的基底材料,使得镜面...
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