可用于原子力显微镜的薄膜材料微挠曲加载装置及方法技术资料下载

技术编号:69469

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技术领域本发明涉及一种在原子力显微镜下对薄膜材料进行挠曲变形加载的微小装置,用于研究薄膜材料的力学、电学、磁学等物理性质受基底机械变形的影响,属于功能材料“力学-电学-磁学-显微结构”相关性测量领域。背景技术原子力显微镜是对材料微纳米尺度形貌进行观测的有效手段。近些年,在其基础上发展起来的压电模块和磁场模块,是对铁电/压电材料、铁磁材料、半导体材料等,尤其是薄膜材料,进行微纳米尺度力学、电学和磁性性质测试表征的得力工具。随着纳米材料制备技术和测试技术的发展,人们逐渐认识到材料在微纳米尺度下物理性质往往与宏观体材料的...
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