技术编号:69469
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种在原子力显微镜下对薄膜材料进行挠曲变形加载的微小装置,用于研究薄膜材料的力学、电学、磁学等物理性质受基底机械变形的影响,属于功能材料“力学-电学-磁学-显微结构”相关性测量领域。背景技术原子力显微镜是对材料微纳米尺度形貌进行观测的有效手段。近些年,在其基础上发展起来的压电模块和磁场模块,是对铁电/压电材料、铁磁材料、半导体材料等,尤其是薄膜材料,进行微纳米尺度力学、电学和磁性性质测试表征的得力工具。随着纳米材料制备技术和测试技术的发展,人们逐渐认识到材料在微纳米尺度下物理性质往往与宏观体材料的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。