技术编号:6947576
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于射频通信及微电子机械(MEMS)技术,特别是一种采用绕轴芯线扭转 振动、电容换能的射频微机电结构的谐振器,该谐振器尤其适合用于射频/微波波段,与现 有的电子通信设备配套用于移动通讯、全球定位等高频波段的无线通信系统。背景技术谐振器是通信系统设备中的基本部件,射频谐振器更是组成频率合成器和滤波器 的关键部件。传统谐振器主要采用LC (电感,电容)谐振回路,石英晶体或介质腔来实现,体 积较大、功耗高,难以适应现代无线通信系统发展的要求。近年来,微电子...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。