技术编号:6947732
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及衬底固持器模块和具有所述衬底固持器模块的衬底装配设备,且尤其 涉及一种使用气体注射压力来使上部和下部衬底彼此粘附的衬底固持器模块和具有所述 衬底固持器模块的衬底装配设备。背景技术常规上,阴极射线管(cathode ray tube, CRT)已经用作显示装置。然而,CRT 具有的缺点在于,其体积较大且重量较重。因此,目前例如液晶显示器(liquid crystal display,LCD)、等离子显示器面板(plasma display pane...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。