技术编号:6947844
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体生产制造设备领域,更具体地说,涉及一种B盘分割机构。 背景技术传统的B盘分割机构采用凸轮机构来实现同步运动方式,如图1和图2所示的B 盘分割机构,包括心轴101、分割盘面102、入力转轴103、真空罩104和真空舱座105,心轴 101与分割盘面和真空罩104相连,真空舱座105与真空罩104相连,马达传动机构通过入 力转轴103驱动凸轮机构106转动,凸轮机构106带动心轴101作间歇运动,分割盘面102 在心轴101带动下做分度动作,完...
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