技术编号:6947942
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体,尤其涉及。 背景技术在制造太阳能电池时,利用如图Ia所示的太阳能PECVD (Plasma-enhanced Chemical Vapor D印osition,等离子体增强化学气相沉积)设备,首先在装卸载区1将多个电池片放置在一个大的载板上,然后将载板连通电池片通过载板升降台2和传输线传入工艺腔3中进行工艺,工艺完成后再将载板通过载板升降台4和返回线5传输回装卸载区 1,将已工艺的电池片卸下,装载新的电池片,重复上述流程。在大规模生产时,...
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