技术编号:6948234
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造工艺,尤其涉及一种。 背景技术在半导体的互连结构中,随着工艺尺寸的日益降低,线宽也逐步减小,在有源区中制作接触孔时,对准也显得越发困难。因此现有一种互连结构,称之为狗骨状互连(dog bone)ο图1为狗骨状互连结构的俯视示意图,如图1所示,所述狗骨状互连具体指在较细的有源连线10 (例如金属互连线、栅线等)上设置方块状的接触区20用于制作接触孔。 所述方块状接触区20的宽度大于有源连线10的宽度,面积较大,因此更易于制作接触孔时进行对...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。