一种选择性发射极晶体硅太阳电池的制备工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:6948859

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本发明属于太阳电池领域,具体涉及一种选择性发射极晶体硅太阳电池的制备工 艺。背景技术大规模生产的常规太阳电池很难突破18%的稳定效率,因此,国内外广泛开展了 提高晶体硅太阳电池效率的研究工作。其中,选择性发射极是一种行之有效的方式。目前,选择性发射极太阳电池的制备工艺众多。发射极的制备方法大致可以分 为两步扩散法和一步扩散法。如南京中电(专利公开号CN 10110193A)先采用低浓度扩 散,然后热生长二氧化硅层,并在二氧化硅层上腐蚀出电极图案,之后采用重...
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