技术编号：6948860
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造，特别涉及一种。 背景技术目前，电子束检测技术是通过电子束缺陷扫描仪(Ε-Beam defect scan tool)，以精确聚焦的电子束来探测缺陷的检测手段。其检测过程为一、通过高压产生电子束，照射晶片，激发出二次电子、背散射电子和俄歇电子等(主要为二次电子)；二、二次电子被探测器感应并传送至图像处理器；三、处理后形成放大图像。电子束检测技术作为捕捉晶片缺陷的检测手段之一，其分辨率极高，经常被用于检测通孔蚀刻不足等材料缺陷。随着半导体...
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