技术编号:6948893
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及输送用于太阳能电池的大型基板等被处理体的输送装置和具有该输 送装置的、对被处理体进行处理的处理系统。背景技术在以太阳能电池、液晶显示器(IXD)为代表的平板显示器(FPD)等的制造过程中, 公知有包括对大型的玻璃基板逐张进行蚀刻或实施成膜等规定处理的处理室和在规定处 理之前将基板预加热到预处理温度的预加热室的单片方式的多腔室型的处理系统(例如, 专利文献1)。这样的处理系统具有设有输送大型的基板(被处理体)的输送装置的共用输送 室,在该共用输送室...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。