技术编号：6949153
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种太阳能电池片减反射膜镀膜设备，尤其涉及太阳能电池片镀膜设 备上的石墨舟传输装置。背景技术光学损失和复合损失会使太阳能电池的输出低于理想值，在电池表面制作减反射 膜可以减少这些损失，目前，在太阳能电池片大规模生产过程中均采用平板式等离子体化 学沉积法，即PECVD制作减反射膜，其中使用最多的PECVD镀膜方式就是用石墨舟承载太阳 能电池片，从太阳能电池片镀膜设备的一头传输至另一头，从而完成减反射膜的镀膜制作。 在太阳能电池片镀膜设备上设有T形滚...
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