技术编号:6949185
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及驱动装置及包括该驱动装置的真空处理装置,特别是涉及具有油封构 造和旋转轴的驱动装置、及包括该驱动装置的真空处理装置。背景技术在成膜工序等半导体制造工艺中,需要防止灰尘附着于被成膜面,因此,要求减少 真空容器内所存在的灰尘。由于各种原因在真空容器内产生灰尘,例如公知这样的原因是, 附着于基板保持架的成膜材料的膜剥离,以及由基板与其他构件之间的接触导致的磨损。 特别是在包括基板输送装置的真空处理装置中具有构成输送装置的构件彼此接触的构造, 因此,期望...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。