技术编号:6949887
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本教导涉及一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的 方法。背景技术由于有机发光显示装置具有的视角大、对比度特性优良、响应速度快,因此有机发 光显示装置作为下一代显示装置已备受瞩目。通常,有机发光显示装置具有堆叠的结构,堆 叠的结构包括阳极、阴极、设置在阳极和阴极之间的发射层。当从阳极和阴极分别注入的空 穴和电子在发射层中复合时,发射光以产生图像。然而,以这样的结构难以实现高发光效 率,因此选择性地将包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、...
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