技术编号：6950006
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实施例涉及一种薄膜晶体管，更具体地讲，涉及一种具有氧化物层的薄膜晶体 管及具有该薄膜晶体管的有机发光显示装置。背景技术诸如液晶显示装置或有机发光显示装置的有源矩阵平板显示装置在每个像素中 包括至少一个薄膜晶体管(TFT)。薄膜晶体管包括有源层和栅电极，有源层设置有沟道区、源区和漏区，栅电极形成 在沟道区的上侧中并通过栅绝缘层与有源层电绝缘。TFT的有源层通常形成为诸如无定形硅或多晶硅的半导体层。当有源层由无定形硅形成时，迁移率低，因此难以实现以高速运行的...
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