技术编号：6950873
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种批次制程的虚拟量测，尤其涉及半导体制造或 TFT-LCD (薄膜晶体管-液晶显示器)制程的质量管理的虚拟量测预估方法与系统。背景技术目前，在半导体的批次制程中，采用的是抽检方法对生产机台的产品质量进行检 测，即在一个含有25片晶圆的卡匣中抽出2 3片晶圆进行实际量测，以监测制程质量是 否稳定，并决定产品的质量。这种检测方法的缺陷是若某批产品在制造的过程中出了问 题，必须要等待检测时才会发现，而此时的制程可能已产生好几批的不良品，即检测出产 品...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。