技术编号:6951721
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体制造系统,更具体地说,涉及一种用于高架交叉系统运输 的系统和方法。背景技术在现代半导体制造设备中,天车(0HS,或轨道车)系统或高架提升传输(0ΗΤ, overhead hoist transport)系统被广泛用于自动化地进行晶片传输处理。OHS是适合于远 距离加工中心间(intertay)运输的传输机构,而OHT适合于近距离加工中心内(intrabay) 运输。基于调度需求并通过自动化物料搬运系统(AMHS)的指令,储料器在晶片载体...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。