技术编号:6952294
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体器件。具体说涉及ZnO肖特基二极管。背景技术肖特基二极管,特别是调频肖特基二极管可广泛应用于微波混频、检波及高速开关电路等领域。传统的肖特基二极管,其欧姆接触电极直接设在衬底的背面,在衬底的正面自下而上依次沉积外延层和金属电极层,外延层的厚度均在2μm以上。这种肖特基二极管的衬底串联电阻较大,截止频率较低,故其应用场合受到极大限制。发明内容本实用新型的目的是提供一种利于提高二极管性能的ZnO肖特基二极管。ZnO肖特基二极管是在衬底的正面...
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