技术编号：6952847
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属突出物，特别涉及一种伸入取代栅极的接触孔金属。 背景技术集成电路(IC)工业已历经快速的成长。集成电路(IC)材料和设计的技术发展已使每一个集成电路世代的电路较前一个世代小且更复杂。然而，这些发展会增加集成电路工艺和制造方法的复杂度，且为了实现这些技术发展，需要发展较简单的集成电路工艺和制造方法。在集成电路发展的过程中，当几何尺寸(意即可利用一工艺制造的最小元件(或线宽))缩小时，通常会增加功能密度(functional density)...
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