技术编号:6952981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及处理半导体晶片等基片的处理模块、包括该处理模块的基片处理装置 以及它们中的基片运送方法。背景技术在半导体集成电路的制造工艺中,利用多个处理室经由一个传送室相结合的所谓 的集束型设备(cluster tool)(例如,专利文献1、2)。由此,基片通过实现了真空气氛(或 者,干净气氛)的运送室从一个处理室被运送到下一个处理室,因此能够在运送过程中将 基片维持在干净的气氛中。从而防止了基片被污染,改善了制造成品率。另外,由于多个处 理室与一个运送室邻接...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。