技术编号:6953595
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种干法与湿法混合制备图形衬底的方法,属于光电子。 背景技术对于LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。目前市面上一般有三种 材料可作为衬底蓝宝石、Si、SiC。图形衬底的制备以蓝宝石为例来说明。通常,GaN基材 料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点首先,蓝宝石衬底 的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中; 最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都...
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