技术编号:6954591
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在减压状态下对形成在被处理基板上的涂敷液的膜(涂敷膜)实施干 燥处理的减压干燥装置。背景技术例如,在平板显示器(FPD)制造的照相平版(photolithography、光刻)工序中,使 用一种减压干燥装置,其用于使涂敷在玻璃基板等被处理基板上的抗蚀液的涂敷膜在预先 烘干之前先适度地干燥。现有技术中代表的减压干燥装置,例如,如专利文献1记载的那样,其具有上表面 开口的托盘或底浅容器型的下部腔室、构成为能够气密地贴合或嵌合在该下部腔室的上表 面的盖...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。