技术编号:6954979
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及有机EL器件制造装置及其制造方法和成膜装置及成膜方法,特别涉 及适用于大型衬底对准的有机EL器件制造装置及其制造方法和成膜装置及成膜方法。背景技术真空蒸镀法是作为制造有机EL器件的有力的方法。在真空蒸镀时需要对准衬底 与掩膜。近年来处理的衬底日趋大型化,G6代的衬底尺寸达到1500mmX1800mm。若衬底尺 寸大型化,则掩膜也理所当然地大型化,其尺寸达到2000mmX2000mm左右。特别是若使用 钢制的掩膜,则其重量达到300Kg。在以往,使...
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