技术编号:6955407
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种低温多晶硅薄膜的制造方法,特别涉及一种改进的利用金属诱导 使非晶硅晶化,从而获得高质量多晶硅的制造方法。背景技术随着高科技的发展,视讯产品,特别是数字化视讯或影像装置已经成为一般日常 生活中常见的产品。这些数字化视讯或影像装置中,显示器是一个尤其重要元件。为了提 高显示器的性能,通常采用TFT组成象素驱动电路及其周边驱动电路,这些TFT大多采用 多晶硅薄膜作为其有源层,并且驱动电路和显示元件一起制作在成本低廉的透明玻璃衬底 上,这都要求多晶硅...
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