技术编号：6955564
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在此所讨论的实施例涉及可变电容元件，更具体的涉及通过使用微机电系统 (MEMS)技术制造的可变电容元件。背景技术可变电容元件是例如变频振荡器、调谐放大器、移相器、和阻抗匹配电路之类的电 路中所用的组件。近年来，便携设备中安装了越来越多的可变电容元件。与目前主要用作可变电容元件的变容二极管相比，使用MEMS技术所制造的可变 电容元件可以实现高Q值而能量损失小。因此，期望发展使用MEMS技术所制造的可变电容 元件，并使其投入实际应用。在下文中，使用MEMS技术...
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