技术编号：6955585
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。桥式-纳米光栅波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及器件，属于半导体光电 子器件领域，涉及一种波长可调谐和偏振可控制的面发射激光器的制备结构和技术。背景技术垂直腔面发射激光器(VCSEL)凭借阈值电流低、单纵模激射、易与光纤耦合、 易集成等优点，在短距离光通信领域成为重要的光源。但由于其对称结构的谐振腔和有 源区的弱各向异性，输出光没有一个稳定的偏振状态。沿GaAs衬底[100]方向制作的标 准器件而言，有两个相互垂直正交的偏振基态，其电矢量方向沿[110]和...
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