技术编号:6955781
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种衬底保持器和一种用于将衬底可拆除地保持在衬底保持器上的 夹具。这种衬底保持器和/或夹具例如用于离子注入设备当中。背景技术离子注入机,例如应用材料公司(Applied Materials)的Quantum注入机用于 向半导体衬底中注入离子。例如,在用于制造绝缘体上半导体(SOI)衬底的所谓的Smart Cut 工艺中,将氢和/或氦离子注入直径为200或300mm的硅晶片中。图1示意性地显示了这种注入机。设备包括具有多个臂3的注入轮(wheel)...
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