技术编号:6955788
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路元件的制造工艺,特别是涉及一种具有后钝化内连线的 集成电路元件。背景技术现有的集成电路是由横向排列的百万个有源元件如晶体管及电容所组成。这些 元件在初步制造工艺中彼此绝缘,但在后段制造工艺中将以内连线连接元件以形成功能电 路。一般的内连线结构包含横向内连线如金属线路,与垂直内连线如通孔与接点。现有的集 成电路其性能与密度的上限取决于内连线。集成电路可含有钝化层,以保护其下的层状结 构不受湿气、污染物、或其他劣化或损伤集成电路的状况影响...
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