技术编号:6956087
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于加工方法,具体涉及。 背景技术石英晶体是一种重要的压电材料,已经广泛地用于通讯、惯性导航、自动控制、电 子手表等各个领域。压电石英器件的基本工作原理是基于石英晶体的压电效应,因此需要 对石英敏感结构各个表面进行金属化以施加或获取不同极性的电信号。在石英微惯性器件 中,敏感结构通常具有三维结构,且需要在三维结构各个面沉积金属薄膜形成电极(通常 是由铬(Cr)的基础电极层加上金(Au)的上部电极层构成的薄膜)。下面,具体说明三维石英敏感结构的金属化图...
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