技术编号:6956164
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子,尤其涉及。 背景技术浮栅结构存储器是目前被大量使用和普遍认可的主流存储器类型,是一种十分重要的半导体元器件,被广泛应用于电子和计算机行业。传统的浮栅结构存储器由于其自身结构与材料的选择导致要求快速写入/擦除操作和长时间高稳定性存储相冲突的局限性, 且随着技术节点的缩小这一矛盾并没有得到明显改善,限制了浮栅存储器的发展。传统的浮栅存储单元是采用η型掺杂的多晶硅薄膜浮栅用于信息的存储。图1为现有技术采用η 型掺杂多晶硅浮栅作为存储层的存储单元...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。