技术编号:6956223
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体材料及其相关方法;因此,本发明涉及化学及材料科学的领域。 背景技术当电脑与其他电子装置的体积愈小且运行速度变快的同时,对于装设于其内部的 半导体元件的尺寸上的要求日益增加。超大型集成电路(Ultra-Scale Integration,ULSI) 是一个可在单一的半导体晶片上放置至少一百万个电路元件的技术,除了极高的元件密度 之外,以及现今尺寸缩减的趋势,使超大型集成电路技术就尺寸上与材料上而言,均变得较 以往脆弱许多。随着现有技术欲朝向突...
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