具有覆盖过孔的金属垫的微电子元件的制作方法技术资料下载

技术编号:6956391

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本发明涉及微电子器件的封装,特别是半导体器件的封装。 背景技术微电子元件通常包括半导体材料例如硅或砷化镓的薄板,通常称作裸片或半导体芯片。半导体芯片通常被作为单独的、封装单元提供。在某些单元设计中,半导体芯片被安装于基板或芯片载体上,基板或芯片载体被安装于电路板例如印制电路板上。有源电路被制作在半导体芯片的第一表面(例如前表面)上。为了便于电连接到有源电路,芯片在同一表面上设置有焊垫。焊垫典型地布置为规则的阵列,或者围绕裸片的边缘或者,对许多存储装置来说,...
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