面发光元件的制作方法技术资料下载

技术编号:6956642

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本发明涉及例如发光二极管(LED)、垂直腔面发光激光器(VCSEL)等面发光元件。 背景技术一般情况下,面发光元件具备在第1导电型基板的上表面依次层叠了第1导电型 的下部反射层、多个阻挡层、形成在阻挡层之间的使用了单一量子阱或多重量子阱构造的 多个有源层、和第2导电型的上部反射层的层叠构造。其中,在下部反射层或上部反射层的 任意一个上,设置有用于向有源层高效注入电流的电流狭窄层。通过形成这样的构造,由 下部反射层、多个阻挡层、有源层和上部反射层来形成光谐振...
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