晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:6956664

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本发明涉及半导体,特别涉及。 背景技术金属-氧化物-半导体(MOS)晶体管是半导体制造中的最基本器件,其广泛适用于各种集成电路中,根据主要载流子以及制造时的掺杂类型不同,分为NMOS和PMOS晶体管。现有技术提供了一种MOS。请参考图1至图3所示的现有技术的MOS剖面结构示意图。请参考图1,提供半导体衬底100,在所述半导体衬底100内形成隔离结构101,所述隔离结构101之间的半导体衬底100为有源区,在所述有源区内形成掺杂阱(未示出)。然后,在所述隔离...
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