技术编号:6958663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种应用于需要精密微小位移输出的压电陶瓷微位移驱动器,更具体 地说,本发明涉及一种。背景技术精密位移输出与控制在机械、仪表等许多和装置中应用极其广泛。压电 陶瓷微位移驱动器作为一种具有优异性能的微位移驱动器得到了广泛重视,发展和应用迅 速。但是迄今为止,压电陶瓷微位移驱动器基本上局限于较小负荷要求的应用场合,一般负 荷最大能力在数百N范围。其结构形式为多片晶片叠置,或者制作成独石结构,以多片叠置 式结构居多。负荷能力大的压电陶瓷微位移驱动器可以应...
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