主动元件及其制造方法技术资料下载

技术编号:6959826

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本发明是有关于一种,且特别是有关于一种可应用于主动元件面板(active-matrix panel)的。背景技术近年来,由于半导体制作工艺技术的进步,主动元件的制造越趋容易、快速。主动元件的应用广泛,例如计算机芯片、手机芯片或是主动元件显示器等。以主动元件显示器为例,主动元件可作为充电或放电的开关。传统主动元件包括底电极、覆盖底电极的绝缘层、位于绝缘层上的非晶硅层以及掺杂非晶硅层以及位于掺杂非晶硅层上的第一电极以及第二电极。当主动元件的底电极施加一正底电极...
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