技术编号:6960208
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的活板输送阀(flap transfer valve),该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式被隔离的半导体或基 板工艺处理室中。背景技术由EP 0554522已知一种这样的活板输送阀。各种真空阀特别地用在集成电路和半导体制造领域中,集成电路和半导体制造必 须尽可能地在没有污染颗粒的受保护环境中进行。例如,在制造半导体晶片或液晶基板的 制造设备中,高度敏感的半导体元件或液晶元件依次穿过多个处理室,其中位于...
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