技术编号:6960297
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的示例性实施例总体而言涉及制造非易失性存储器件的方法,更具体而言 涉及制造非易失性存储器件的浮置栅的方法。背景技术NAND快闪存储器件(即,非易失性存储器件)包括串联耦合以形成单位串的多个 存储器单元。NAND快闪存储器件在代替其他的记忆棒、通用串行总线(Universal Serial Bus, USB)驱动器和硬盘来使用的方面以及NAND快闪存储器件的应用正在不断增长和扩展。为改善现有的非易失性存储器单元的阈值电压分布的均勻性,浮置栅由第一导电 ...
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