技术编号：6960470
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池制造设备领域，特别涉及一种用于制造薄膜太阳能电池的化学气相沉积装置。背景技术在诸多的太阳能电池应用技术中，薄膜太阳能电池因无污染，能耗少，成本低廉， 可以大规模生产等一系列优点，被广泛应用于航空、航天以及人们的日常生活中。常见的薄膜太阳能电池包括非晶硅薄膜太阳电池，铜铟镓硒薄膜电池和碲化镉薄膜电池。在公开号为101027749和1012^967的中国发明专利文件中，可以发现更多上述的太阳能薄膜电池的形成方法。在薄膜太阳能电池的制造中，透...
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