技术编号:6961082
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是在光电信息领域涉及一种;用于无盲区、无光电串扰的各种象限光电探测器的制作。背景技术在半导体硅象限光电探测器,包括四象限、双四象限、线阵、面阵等各种象限光电探测器中,由于各象限光敏元要独自输出信号,所以各象限光敏元之间有一隔离区。而在象限光敏元中,因光照而产生的光生载流子。在芯片内部,大部分光生载流子在电场作用下作有序定向运动,构成光信号电流;而光生载流子中,总有一部份在其产生区和渡越区域作无序运动而进入周边邻近的光敏元,构成了有害的光电串扰。尤其是...
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