技术编号:6961190
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造装置领域,尤其涉及一种化学制剂处理系统。 背景技术近年来,各类型的化学制剂供给装置被广泛应用到半导体装置的生产当中。化学 制剂供给装置可将化学制剂提供给用于制造半导体装置的工艺单元,如果提供给处理单元 的化学制剂由于其内部成分的变化、细微分离颗粒的聚集,温度、流量和压力的变化等原因 而不稳定,则半导体装置可能就有缺陷。因此,就要求有一种化学制剂供给装置来提供稳定 的化学制剂。发明内容(一)要解决的技术问题本发明的目的是在不停止生产工艺的...
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